Technologie-Portfolio für Point-of-Use Abgasreinigung

Das Portfolio der DAS Environmental Expert GmbH im Bereich Point-of-Use Abgasreinigung umfasst aktuell vier Technologiegruppen. Begonnen hat das Unternehmen 1991 auf Basis des Brenner/Wäscher-Prinzips. Seitdem wurde beständig im Bereich Entwicklung investiert und somit das Portfolio marktspezifisch erweitert. Noch heute liegt einer der strategischen Schwerpunkte des Unternehmens in der kundenspezifischen Technologie-Entwicklung.

Brenner/Wäscher-Technologie am Beispiel der STYRAX-Produktfamilie
Brenner/Wäscher-Technologie am Beispiel der STYRAX-Produktfamilie

Brenner/Wäscher Abgassystem

Die Kombination aus Brenner und Abgaswäscher in einem Gerät ist eine Spezialität der DAS Environmental Expert GmbH, welche basierend auf der ESCAPE-Produktreihe seit Unternehmensgründung beständig weiterentwickelt wurde. In den Anlagen des Unternehmens werden Schadstoffe in den Prozessabgasen direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Dazu werden die Abgase in einen ringförmigen Brenner geleitet. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase erfolgen dort verschiedene Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Die dabei entstandenen löslichen, gasförmigen und festen Substanzen werden anschließend im Abgaswäscher durch eine geeignete Waschflüssigkeit gebunden. Sie sorgt gleichzeitig für die schnelle Abkühlung des Restgases.

Die Brenner/Wäscher-Kombination wird in verschiedenen Anlagen der DAS Environmental Expert GmbH zur Entsorgung sehr unterschiedlicher umweltschädlicher und/oder gefährlicher Abgase eingesetzt. In der Halbleiter-Industrie beispielsweise kommen verschiedene Fluor-Verbindungen, Ammoniak, Silan oder Wasserstoff zum Einsatz. Für Abgase aus anspruchsvollen CVD-Prozessen wurde zuletzt die STYRAX-Produktreihe entwickkelt. 

Die Brenner-Technologie am Beispiel der LARCH-Produktfamilie
Die Brenner-Technologie am Beispiel der LARCH-Produktfamilie

Brenner

In einem Brenner werden Schadstoffe aus Prozessabgasen entfernt. Dazu kann, falls erforderlich, ein Brenngas eingesetzt werden. Im Abgasbrenner erfolgen, abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase, verschiedene Reaktionen wie Oxidation, Reduktion oder Pyrolyse. 

Die Brenner-Produktfamilie LARCH wurde speziell für MOCVD-Prozesse in der LED-Industrie entwickelt. Als typische Gase werden hier Wasserstoff und Ammoniak behandelt.

Gaswäscher-Technologie am Beispiel der AQUABATE-Produktfamilie
Gaswäscher-Technologie am Beispiel der AQUABATE-Produktfamilie

Gaswäscher

Die Nasswäsche ist ein effizientes Verfahren zum Auswaschen wasserlöslicher Schadstoffe aus Prozessabgasen. Die Point-of-Use-Gaswäscher der DAS Environmental Expert GmbH werden erfolgreich vor allem in der Halbleiterindustrie zur Abgasreinigung eingesetzt. Dazu werden sie in möglichst kurzer Entfernung hinter den Vakuumpumpen installiert. Die Anlagen sind sehr wartungsfreundlich und schützen das Fab-Abluftsystem vor Verunreinigung und Korrosion. 

Die AQUABATE-Produktfamilie behandelt mittels Nasswäsche u.a. typische Gase aus CVD- und Epitaxy-Prozessen in der Halbleiterindustrie und MOCVD-Prozessen in der LED-Industrie. Dazu zählen bspw. Silan, Ammoniak, Stickstofftrifluorid, Wasserstoff und Monogerman.

Der Gaswäscher SALIX wurde speziell für Abgase aus dem Wafer Cleaning in der Halbleiterindustrie entwickelt. Hier werden Isopropylalkohole, Ammoniak und Fluorwasserstoffsäure behandelt.

Elektrostatische Filter-Technologie am Beispiel der EDC-Produktfamilie
Elektrostatische Filter-Technologie am Beispiel der EDC-Produktfamilie

Elektrostatische Filter

Elektrostatische Filter nutzen ein elektrisches Feld, um Abgase von Partikeln zu reinigen. Die Anlagen der DAS Environmental Expert GmbH, insbesondere die Elektrostatischen Abscheider der EDC-Produktlinie, wurden speziell dafür entwickelt, auch feine und feinste Stäube sowie Aerosole zuverlässig und effizient aus den Abgasen zu entfernen wie sie u.a. in der TFT-Industrie entstehen.

Dazu werden die vorgereinigten Prozessabgase mit Hilfe spezieller Düsen zunächst mit Wasser gesättigt und in eine turbulente Strömung versetzt. Dann werden die Abgase durch aerodynamisch optimierte Staubabscheider-Säulen geführt. Dort werden die enthaltenen Mikro- und Nanopartikel ionisiert und an der bespülten Wand auf einem geerdeten Waschflüssigkeitsfilm abgeschieden. Der Staub wird in der Waschflüssigkeit suspendiert, so dass er gefahrlos entsorgt werden kann. 

Auf dem gleichen Prinzip beruht auch die Behandlung flüchtiger organischer Verbindungen (VOCs) mit dem Elektrostatischen Kondensat-Abscheider JUNIPER, welcher ursprünglich für die Behandlung von Terpineolen in der Photovoltaik-Industrie entwickelt wurde.

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