Point-Of-Use Abgasreinigung von DAS

Seit 1991 entwickelt und produziert DAS Environmental Expert kundenspezifische Point-of-Use Anlagen zur Prozessabgasreinigung.

Industrielle Systeme zur Abgasreinigung sind noch wenig beachtete, jedoch wesentliche Komponenten im Fertigungsprozess vieler Hightech-Industrien. Aber die Entsorgung von Schadgasen wird eher als Kostentreiber und weniger als Sicherheits- und Umweltschutzthema betrachtet.

Drei wesentliche Gründe für den Einsatz von Anlagen zur Abgasbehandlung in der Industrie:

  1. Sicherheit und Gesundheit am Arbeitsplatz:
    Viele der eingesetzten Prozessgase sind entflammbar oder explosiv. Dazu gehören u.a. Wasserstoff (H2) oder Silan (SiH4). Andere Gase hingegen sind giftig und müssen behandelt werden (COF2, HBr und F2), bevor sie in Kontakt mit Mensch und Natur kommen.
  2. Umweltschutz:
    Viele der zu behandelnden Abgase sind umweltschädlich. Tetrafluorkohlenstoff (CF4) hat bspw. eine Lebensdauer in der Atmosphäre von ca. 50.000 Jahren. Sein relatives Treibhauspotential ist 6.500-mal so hoch wie das von Kohlenstoffdioxid (CO2).
  3. Stabilität des Produktionsprozesses:
    Partikel oder Feinstäube können das Abluftsystem einer Fabrik zum Erliegen bringen, was ungewollte Ausfallzeiten in der Fertigung bedeuten würde. Der Staub ist schwer zu behandeln, da die Partikel häufig kleiner als 1 µm sind und deshalb leicht durch den Gaswäscher oder Abscheider dringen, ohne in der Waschflüssigkeit gefangen zu werden.

Die Installation von Systemen für die Abgasreinigung in der Industrie ist daher extrem wichtig. In den meisten Fällen stehen diese Anlagen in der sogenannten „sub fab“, direkt neben den Vakuumpumpen. Die Entsorgung am sogenannten Point-of-Use bietet dabei folgende Vorteile:

  • Kurze Gasleitungen mit weniger Risiko von Leckage und Verblockungen
  • Deutliches Kosteneinsparungspotential für beheizte Leitungen, die zur Vermeidung von Kondensation in den Schadgasleitungen bei einigen Prozessen notwendig sind
  • Geringer Reinigungs- und Wartungsaufwand an den Gasleitungen

DAS Environmental Expert bietet für die industrielle Abgasbehandlung die Brenner-Wäscher-Systeme der Produktfamilien ESCAPE, STYRAX, UPTIMUM und GIANT sowie die Gaswäscher-Systeme der AQUABATE- und SALIX-Reihe an. Auch für die Entsorgung von Abgasen aus MOCVD-Prozessen hat DAS mit LARCH eine effiziente Lösung. Bei besonders partikelbelasteten Prozessen können weitere Abgasreinigungsanlagen für die Partikel- bzw. Kondensatabscheidung ergänzt werden. Dafür eignen sich die Abgasreinigungsverfahren der JUNIPER und EDC Abgasanlagen an.

  • Point-of-Use Abgasreinigung in der Chipindustrie von DAS Environmental Expert
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  • Point-of-Use Abgasreinigung Anlagen von DAS für Photovoltaikindustrie
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  • DAS Lösungen für die Abgasentsorgungin der Halbleiterindustrie
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Prinzipiell können DAS Abgasreinigungsanlagen kondensierbare, brennbare, korrosive, reaktive, toxische und/oder pyrophore Abgase (z. B. Silane, Silanorganika, Terpineole, Wasserstoff, Ammoniak oder Halogenwasserstoffe) sowie Feinstäube behandeln. Dabei profitieren Kunden aus der Halbleiter- und Solarbranche, aber auch aus den Bereichen TFT und LED vom ausgeprägten technischen Verständnis der Experten aus Dresden. Sie kennen die Produktionsprozesse für Mikrochips und Solarmodule sehr genau und wissen, dass die Abgasreinigung maßgeblich für die Sicherheit des Fertigungsprozesses ist. Diese Expertise nutzt DAS, um passgenaue und effektive Lösungen anzubieten. Mit dieser Kernkompetenz entwickeln und fertigen wir Point-of-Use Entsorgungslösungen für Abgasströme zwischen 1 m³/h und 3600 m³/h, übrigens auch für andere Branchen.

Ihre Applikation, unsere Lösung für die Abgasreinigung und Abluftreinigung

  • Die effiziente Entsorgung großer Schadgasmengen aus Nassbank-Applikationen ermöglicht unser Point-Of-Use Gaswäscher SALIX.

    PoU Gaswäscher SALIX.
    Abgasreinigung mit Gaswäscher SALIX
    Abgasreinigung mit Gaswäscher SALIX
  • Die AQUABATE Gaswäscher-Familie besteht aus vier Systemen und basiert auf einer reinen Gaswäsche zum effizienten Auswaschen wasserlöslicher Schadstoffe aus Prozessabgasen.

    PoU Gaswäscher AQUABATE.
    Abgasreinigung mit Gaswäscher AQUABATE
    Abgasreinigung mit Gaswäscher AQUABATE
  • ESCAPE steht für “Environmentally Safe Cleaning and Protecting Equipment” und ist das Basisprodukt der Brenner-Wäscher-Familien von DAS.

    Abgasreinigung mit ESCAPE.
    Abgasreinigung mit ESCAPE
    Abgasreinigung mit ESCAPE
  • Der neuste Anlagentyp zur Abgasreinigung, basierend auf der Brenner-Wäscher-Technologie, ist die Produktlinie STYRAX, speziell zur Entsorgung anspruchsvoller CVD-Prozesse entwickelt.

    Abgasreinigung am PoU mit STYRAX.
    Abgasreinigung mit STYRAX
    Abgasreinigung mit STYRAX
  • Der Name UPTIMUM basiert auf dem englischen Begriff „Uptime“ und verweist auf die hohe Verfügbarkeit der Anlage. UPTIMUM ist ebenfalls ein Brenner-Wäscher-System zur Abgas-Entsorgung.

    Abgasreinigung mit UPTIMUM.
    Abgasreinigung mit UPTIMUM
    Abgasreinigung mit UPTIMUM
  • GIANT ist besonders für die Entsorgung von Prozessabgasen aus CVD-Prozessen der PV- und TFT-Industrie geeignet. GIANT zeichnet sich durch besonders hohe Entsorgungskapazitäten aus.

    Abgasreinigung mit GIANT.
    Abgasreinigung mit GIANT
    Abgasreinigung mit GIANT
  • EDC ist ein elektrostatischer Staubabscheider zur Behandlung von partikel- bzw. aerosolbelasteten Prozessabgasen. Der Abscheider reduziert Feinstaub-Emissionen.

    Abluftreinigung mit EDC.
    Abgasreinigung und Abluftreinigung mit EDC
    Abgasreinigung und Abluftreinigung mit EDC
  • JUNIPER ist ein elektrostatischer Kondensatabscheider und entfernt zuverlässig sowie preisgünstig flüchtige organische Verbindungen. Es werden Abscheideraten bis zu 95 % erreicht.

    Abluftreinigung mit JUNIPER.
    Abgasreinigung und Abluftreinigung mit JUNIPER
    Abgasreinigung und Abluftreinigung mit JUNIPER
  • LARCH ist unser neustes Abgasreinigungs-System speziell für MOCVD-Prozesse in der LED-Industrie. Es behandelt u.a. große Gasflussmengen von Wasserstoff und Ammoniak.

    Abgasreinigung mit LARCH.
    Abgasreinigung mit LARCH
    Abgasreinigung mit LARCH
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