Abgasreinigung mit UPTIMUM (burn/wet) am Point-Of-Use

Prozessabgas-Reinigung UPTIMUM
Prozessabgas-Reinigung mit UPTIMUM

UPTIMUM ist ein System zur Prozessabgas-Reinigung mit den Verfahrensabläufen Verbrennen und Waschen am Point-of-Use. Der Name UPTIMUM basiert auf dem englischen Begriff „Uptime“ und verweist auf die besonders hohe Verfügbarkeit der Anlage. Des Weiteren ist sie bei vielen verschiedenen Applikationen einsetzbar.

Funktionsprinzip der UPTIMUM-Systeme

Die Prozessabgase werden über maximal sechs separate Schadgaseinlässe zugeführt. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Schadgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschstrecke, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt die Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Die verbleibenden Restgase entsprechen den strengen rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Geprüfte Qualität für Abgasreinigung mit UPTIMUM
Geprüfte Qualität für Abgasreinigung mit UPTIMUM

Grundsätzlich können alle UPTIMUM-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Brenngas: NG, LPG
  • Oxidant: O2, CDA
  • Kreislaufsystem: Wasser, Lauge
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2 Zertifizierung
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Abgasreinigungsprinzip UPTIMUM von DAS
UPTIMUM – Lösung zur Abgasreinigung am Point-Of-Use bei CVD-Prozessen
Abgasentsorgung am Point of Use mit UPTIMUM
UPTIMUM – Lösung zur Abgasreinigung am Point-Of-Use bei CVD-Prozessen

UPTIMUM – Effiziente Abgasreinigung am Point-of-Use bei CVD-Prozessen

Bei der Abgasreinigung mit UPTIMUM erfolgt im Gegensatz zur ESCAPE-Technologie das Brennen von oben nach unten. UPTIMUM ist optimiert für bis zu sechs unabhängige Schadgaseinlässe aus CVD-Prozessen unterschiedlichster Industriebereiche wie z.B. aus der Halbleiterindustrie oder der Solarindustrie. Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Spezifikationen

  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1525 mm x 1050 mm x 2100 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: max. 6 x DN25 oder 4 x DN40
  • Gasauslass: DN100
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Point of Use Prozessabgas-Reinigung UPTIMUM PLUS
UPTIMUM PLUS – Lösung zur Abgasreinigung am Point-Of-Use in der Photovoltaik-Industrie

UPTIMUM PLUS – Effiziente Abgasreinigung in der Dünnschicht-Photovoltaik-Industrie

DAS Point-Of-Use Abgasreinigungs-System UPTIMUM PLUS arbeitet nach dem gleichen Prinzip wie UPTIMUM. Die Anlage ist speziell auf die Anforderungen von Prozessen in der Silizium-Dünnschicht-Photovoltaik angepasst. Diese Variante kann höhere Mengen H2 und NF3 (bzw. F2) entsorgen, ohne dabei Abstriche bei der Anlagenverfügbarkeit machen zu müssen. 

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