Zuverlässige Abgasreinigung von DAS für die TFT Industrie

Sichere TFT-Produktion mit Abgasreinigungs-Anlagen von DAS
Sichere TFT-Produktion mit Abgasreinigungs-Anlagen von DAS

Auch bei der Herstellung von TFT Displays fallen Abgase an. Sie entstehen beispielsweise bei den Prozessen, mit denen auf großformatigen Glassubstraten Dünnschicht-Transistoren (Thin Film Transistors - TFT) erzeugt werden. Dazu werden, mit Prozessen wie der chemischen Dampfphasen-Abscheidung (Chemical Vapour Deposition – CVD), die entsprechenden dünnen Schichten auf dem Material abgeschieden.

Dabei ist in regelmäßigen Abständen die Reinigung der Prozesskammer erforderlich. Sie erfolgt durch einen Ätzvorgang mit NF3. Zum Ätzen der abgeschiedenen Dünnschichten werden typischerweise CF4, SF6 und chlorhaltige Gase verwendet. Im Ergebnis fallen große Mengen Abgasgemische an, welche mit Bernner/Wäscher-Systemen oder Elektrostatischen Filtern behandelt werden können. 

 

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Entstehende Abgase in der TFT-Industrie

Die Abgase, die bei den Produktionsprozessen in der TFT Industrie entstehen, enthalten neben den oben benannten Ätzgasen unter anderem Reste der Prozessgase Silan SiH4, Ammoniak NH3 und Stickoxid N2O. Einige dieser Substanzen wirken stark ätzend, sind giftig und/oder leicht entzündbar. Die perfluorierten Kohlenwasserstoffe gelten zudem als Treibhausgase („Greenhouse Gases“), die ein extrem hohes Treibhauspotential („Global Warming Potential“) haben.

Solche Abgase stellen daher oftmals erhebliche Risiken für die Umwelt, aber auch für die Sicherheit von Produktionsstätten dar. Insbesondere durch die Zusammenführung verschiedener Abgase in zentralen Abgassystemen von Fabriken können leicht entzündliche bzw. explosive Gasgemische entstehen. Das birgt große Gefahr und ist deshalb unbedingt zu vermeiden. Aggressive Abgase können zudem die Korrosion von Pumpen, Ventilen und Rohrleitungen erheblich beschleunigen und so die Betriebssicherheit gefährden. Sind im Abgasstrom Partikel enthalten, können sie sich in Rohrleitungen ablagern und diese zusetzen. Das führt zu erhöhtem Wartungsaufwand und möglicherweise sogar zum Stillstand der Produktion.

Mit den Anlagen der DAS Environmental Expert GmbH werden die Abgase aus den Prozessen direkt am Ort ihrer Entstehung („Point-of-Use“) gereinigt. Dabei werden die gefährlichen Substanzen zuverlässig entsorgt. Speziell für die TFT Industrie hat DAS Lösungen entwickelt, die die größeren Abgasvolumina sicher bewältigen. Die Abluft erfüllt die Anforderungen der deutschen TA-Luft und kann über das Dach abgeblasen werden.

Die Entsorgungslösungen der DAS Environmental Expert GmbH basieren auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Die kleinsten Anlagen passen komplett in einen Schrank mit weniger als 1x1 qm Grundfläche. Sämtliche Anlagen arbeiten voll automatisiert und sensorgesteuert. Sie erfüllen höchste, zertifizierte Sicherheitsstandards. Die DAS Environmental Expert GmbH verfügt auf dem Gebiet der Abgasreinigung über 14 registrierte Patente und weitere Nutzungsrechte für wichtige Technologien und technische Lösungen.

Ihre Applikation, unsere Lösung für die Abgasentsorgung

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ProduktTechnologieCVD
UPTIMUMBrenner/Wäscher
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GIANTBrenner/Wäscher
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EDCElektrostatische Filter
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