Abgasreinigung mit STYRAX (burn/wet) am Point-of-Use

Prozessabgasreinigung CVD mit STYRAX für 450mm
Prozessabgasreinigung mit STYRAX bis 450mm

Neu im DAS-Produktportfolio zur Abgasreinigung ist STYRAX, ein Point-of-Use Brenner-Wäscher-System, welches speziell zur Entsorgung von Prozessabgasen aus anspruchsvollen CVD-Prozessen in der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie entwickelt wurde. Eine hohe Anlagenverfügbarkeit wird durch die Senkung des Wartungsaufwandes erreicht.

Funktionsprinzip der STYRAX-Systeme

Die Schadstoffe in den Prozessabgasen werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Basierend auf der Brenner/Wäscher-Technologie von GIANT und UPTIMUM erfolgt das Brennen von oben nach unten. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm verhindert die Ablagerung von Feststoffpartikeln an der Reaktorinnenwand und beugt Korrosion vor. In der Waschkolonne, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt die Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Die verbleibenden Restgase entsprechen den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Geprüfte Qualität für Abgasreinigung mit STYRAX
Geprüfte Qualität für Abgasreinigung mit STYRAX

Grundsätzlich können alle STYRAX-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Brenngas: NG, LPG
  • Oxidant: O2, CDA
  • Kreislaufsystem: Wasser, Lauge
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2 Zertifizierung


Ihre Vorteile:

  • Optimale Entsorgung von besonders anspruchsvollen CVD-Prozessen
  • Besonders geringer Wartungsaufwand – Hohe Verfügbarkeit
  • Keine Verblockungen der Schadgaseinlässe
  • Geringer Druckverlust
  • Wenig Platzbedarf
Kontakt Button

DAS Abgasreinigung STYRAX Prinzip
Funktionsprinzip der STYRAX Abgasreinigungs-Systeme
point of Use Abgasreinigung STYRAX INLINE
Das Basistsystem für Abgasreinigung mit STYRAX - STYRAX INLINE

Das Basis-Abgasreinigungssystem STYRAX INLINE

STYRAX INLINE ist optimiert für bis zu sechs unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie. Die Prozessabgase werden sicher und effizient entsorgt.  Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll. 

Spezifikationen

  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1110 mm x 675 mm x 2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: max. 6 x DN25 oder 4 x DN40
  • Gasauslass: DN100
Kontakt Button

STYRAX TWICE doppelte Prozessabgasreinigung
STYRAX TWICE - doppelte Abgasreinigung

Doppelte Abgasentsorgung mit STYRAX TWICE

STYRAX TWICE ist ein Doppelsystem mit zwei unabhängigen Brenner-Wäscher-Systemen mit einer gemeinsamen Steuerung und Medienzuführung. Es ist optimiert für bis zu acht unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll. 

Spezifikationen

  • Bis zu vier getrennte Einlässe
  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    855 mm x 675 mm x 2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 2 x 4 DN25 oder DN40
  • Gasauslass: DN100
Sichere Abgasentsorgung liefert DAS mit STYRAX DUO
Maximale Abgasreinigung mit STYRAX DUO

Maximale Abgasreinigung mit STYRAX DUO

STYRAX DUO ist eine Anlage mit zwei Reaktor-Wäscher-Systemen, die parallel zueinander arbeiten. Das Doppelsystem ist optimiert für bis zu vier unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung (internes Backup). Dadurch wird eine nahezu 100-prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll. 

Spezifikationen

  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1865 mm x 675 mm x 2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: max. 2 x 2 DN25 oder DN40
  • Gasauslass: 2 x DN100
Sie wünschen eine Beratung?

Nutzen Sie zur Kontaktaufnahme bitte das folgende E-Mail-Formular oder rufen Sie uns an. 

Ihr Anliegen
+49 351 40494-400Rufen Sie uns an! Gern beraten wir Sie zu unseren Produkten im Bereich Abgasreinigung.