Abgasreinigung mit SALIX (wet) am Point-Of-Use

Abgasreinigung für wasserlösliche Gase mit Gaswäscher SALIX von DAS
Gaswäscher SALIX von DAS

Der Gaswäscher SALIX, aus dem Point-of-Use Abgasreinigungs-Portfolio von DAS Environmental Expert, sind Anlagen zur Entsorgung von Schadgasen aus Nassbank-Applikationen der Halbleiterindustrie. In einem ein- bzw. zweistufigen Waschvorgang werden die Schadstoffe durch chemische und physikalische Absorption aus dem Gasstrom entfernt. Dabei werden die Waschstrecken mit unterschiedlichen Waschflüssigkeiten nacheinander im Gegenstrom durchlaufen. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. der rechten Seite, alternativ auch von der Rückseite.

Funktionsprinzip der Abgasreinigung mit dem Gaswäscher SALIX

Über bis zu zwölf separate Einlässe werden die Schadgase in einen Vorwäscher geleitet und mittels Sprühdüsen vorgewaschen.

Danach gelangen die Gase in die erste Waschstrecke und strömen zwangsweise von unten nach oben durch eine Füllkörperpackung. Die Packung wird über Sprühdüsen mit Waschflüssigkeit versorgt. Durch die große Oberfläche der Füllkörper und das Gegenstromprinzip ist eine optimale Absorption der Schadgase möglich.

Nach der ersten Waschstrecke durchströmt das Gas einen Tröpfchenabscheider (Demister), um eine Verschleppung von Waschflüssigkeit zu verhindern. In der zweiten Waschstrecke wird in der Regel mit einer anderen Waschflüssigkeit gewaschen. Inhaltsstoffe der Schadgase, die in der ersten Waschstrecke nicht reagiert haben, können somit in der zweiten Waschstrecke besser absorbiert werden. Nachdem die Restfeuchtigkeit des Gasstroms in einem Demister abgeschieden wurde, entspricht das verbleibende Restgas den Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Zertifizierte Qualität mit Gaswäscher SALIX von DAS
Abgasreinigung in zertifizierter Qualität ermöglicht Gaswäscher SALIX von DAS

Grundsätzlich können alle SALIX-Gaswäscher wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Bypass
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2 Zertifizierung
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Abgasreinigung mit Gaswäscher SALIX von DAS erklärt anhand eines Funktionsprinzips
Funktionsprinzip einer Abgasreinigung auf Basis des Gaswäschers SALIX

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1. Einstufiger Wäscher: 2000 mm x 1250 mm x 1965 ... 2378 mm (mit Bypass)
    2. Zweistufiger Wäscher: 3207 mm x 1250 mm x 2040 ... 2575 mm (mit Bypass)
  • Gaseinlass: max. 12 x DN 150
  • Gasauslass: DN 300
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