Abgasreinigung mit LARCH (oxidation/pyrolysis) am Point-Of-Use

DAS Prozessabgas-Reinigung LARCH
Prozessabgas-Reinigung mit LARCH für LED-Prozesse

LARCH ist unser neuestes Point-of-Use System, zur effizienten und sicheren Reinigung von Abgasen speziell aus MOCVD-Prozessen in der LED-Industrie. Es behandelt große Gasflussmengen von Wasserstoff und Ammoniak und auch kleinere Mengen Metallorganika und Dotierungsstoffe, die in typischen LED‑Prozessen eingesetzt werden. Die Verfahrenskombination von Oxidation und Pyrolyse erweitert das Technologie-Portfolio von DAS nachhaltig. Geringe Investitions- und Betriebskosten, einfacher, robuster Aufbau und hohe Umweltverträglichkeit (keine CO2-Emission, minimale NOx-Emission) zeichnen LARCH aus. Der Wartungszyklus ist größer als sechs Monate.

Das LARCH-Funktionsprinzip

Das System arbeitet in drei Stufen: Zuerst erfolgt die Zersetzung von Ammoniak in einem speziellen, gepackten Pyrolyserohr (2NH3 à N2 +3H2). Danach wird der Wasserstoff gezündet. Das Schadgas oxidiert vollständig im Reaktor (2H2 + O2 à 2H2O) und wird abschließend im Wärmetauscher abgekühlt (< 60 °C) und über den Exhaust an die Umwelt abgegeben. Es entspricht den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Grundsätzlich können LARCH-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset  
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Prinzip Abgasentsorgung mit LARCH von DAS
Funktionsprinzip von LARCH

Ihre Vorteile

  • Kein CO2-Ausstoß: keine Treibhausgase, sehr geringer NOx-Ausstoß
  • Kein Abwasser: Kein Problem mit NH4+ Abwasserlimits
  • Behandlung von H2 am Point-of-Use: Maximale Sicherheit bzgl. H2
  • Einfaches und robustes Design: Geringe Investitions- und Betriebskosten, minimaler Wartungsaufwand
  • Interne Sicherheit: H2-Verdünnung im Feuerfall
  • Option: Kühlung nur mit Umgebungsluft (kein Kühlwasser)

Technische Daten

  • Größe (B x T x H): 1350 mm x 1000 mm x 2000 mm
  • Wartungsfläche vor, hinter und über dem Tool
  • Gaseinlass: DN40
  • Gasauslass: DN300 (Standard)
  • Exhaust: -8 bis -10 hPa, ~ 3000 m3/h,         T < 60 °C
  • Wärmelast vom Abgas (H2 + NH3):
    < 100 kW
  • Emissionen:
    H2 Exhaust Konzentration < 0,1 LEL (Normalbetrieb),
    NH3 Exhaust Konzentration entspricht TA-Luft

Prozessgaskapazität

  • H2 bis 500 slm
  • NH3 bis 200 slm
  • Metal organic precursors and dopants (TMGa, TMIn, ...), PH3, … :          bis 1slm
  • SiH4: bis 0,2 slm
  • N2: bis 300 slm
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