Effiziente Abgasreinigung von DAS für die Halbleiterindustrie

Zu Beginn der 90er Jahre gab es für die Abgasreinigung in der Halbleiterindustrie keine geeignete umfassende technische Lösung. Damals wie heute wurden in vielen Produktionsprozessen in Industrie und Forschung Prozessgase verbraucht und Abgase erzeugt, bspw. beim Reinigen der Wafer und im Rahmen von Ätz-, CVD- und Epitaxie-Prozessen. Diese Abgase sind Treibhausgase („Greenhouse Gases“), giftig und/oder leicht entzündbar, und oft mit erheblichen Risiken für Produktionsstätten und Umwelt verbunden. So werden in der Chipindustrie beispielsweise perflourierte Kohlenwasserstoffe eingesetzt, die ein extrem hohes Treibhauspotential („Global Warming Potential“) haben und nach einer effizienten Abgasreinigung verlangen. Durch die Zusammenführung und den Transport verschiedener Abgase in zentrale Abgassysteme der Fabriken können leicht entzündliche bzw. hoch explosive Gasgemische entstehen, was schon zum Totalverlust von ganzen Fabriken geführt hat. Mitgeführte Partikel können die Transportleitungen zusetzen. Zu eliminieren sind diese Risiken, wenn man die Abgase aus den Prozessen direkt am Ort ihrer Entstehung (Point of Use) reinigt und die schädlichen Abgase gleich dort entsorgt. Das kann durch den Einsatz von Brenner/Wäscher-Systemen, Gaswäschern und Elektrostatischen Filtern erreicht werden. 

  • DAS sichert eine nachhaltige Produktion in der Chipindustrie durch zuverlässige Abgasreinigung
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  • Reinigung von Prozessabgasen mit Anlagen von DAS für Halbleiterindustrie
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  • Abgasreinigungsanlagen von DAS für die Halbleiterindustrie
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Point-Of-Use Lösungen zur Abgasreinigung Made in Dresden

Seit 1992 zeichnen die Point-of-Use Anlagen, welche die DAS Environmental Expert GmbH in Dresden entwickelt und herstellt, verantwortlich für die fachgerechte Reinigungen von Abgasen. DAS-Anlagen sind faktisch an allen modernen Beschichtungs- und Ätzanlagen der Chipindustrie einsetzbar. Die Abgase werden sicher und umweltgerecht gereinigt, sodass die Abluft auch die Anforderungen der deutschen TA-Luft erfüllt. Die DAS- Technologie basiert dabei auf einem flexiblen, integrierten Anlagenkonzept. Die kleinsten Anlagen passen komplett in einen Schrank mit deutlich weniger als 1 x 1 qm Grundfläche. DAS-Anlagen arbeiten voll automatisiert und sensorgesteuert. Sie erfüllen höchste, zertifizierte Sicherheitsstandards. DAS verfügt auf dem Gebiet der Abgasreinigung über 14 registrierte Patente und weitere Nutzungsrechte für wichtige Technologien und technische Lösungen.

Ihre Applikation, unsere Lösung für die Abgasentsorgung

Finden Sie hier die passenden Abgasreinigungsanlagen für Ihre Prozesse. Wählen Sie dazu Ihren Prozess im Tabellenkopf. Mit Klick auf die relevante Anlage gelangen Sie direkt zur Produktseite.

Prozesse der Waferfertigung
Prozessübersicht der Waferfertigung
ProduktTechnologieETCHCVDEpitaxyWafer Cleaning
SALIX Gaswäscher
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AQUABATE Gaswäscher
XXX
ESCAPEBrenner/WäscherXXX
STYRAXBrenner/WäscherXXX
UPTIMUMBrenner/WäscherXXX
EDCElektrostatische Filter
XX
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ROBERT BOSCH

"Wir vertrauen DAS-Abgasentsorgungs-equipment seit nunmehr 18 Jahren. Die Dresdner Umweltexperten kennen unsere hohen Qualitätsansprüche und tragen mit ihren Anlagen sowie dem professionellen Service erheblich dazu bei, diese zu realisieren."

Jürgen Burek

GLOBALFOUNDRIES

„Als internationaler Chiphersteller setzen wir auch auf die hohe Technologiekompetenz sächsischer Anlagen-Spezialisten. So vertrauen wir seit Jahren den Entsorgungslösungen der DAS Environmental Expert GmbH. Daraus ist eine partnerschaftliche Beziehung gewachsen, mit der für uns auch ein klares Bekenntnis zum Mikroelektronik-Standort Dresden verbunden ist.“

Eckhard Oetjen

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