Abgasreinigung mit GIANT (burn/wet) am Point-Of-Use

Prozessabgas-Reinigung GIANT
Prozessabgas-Reinigung mit GIANT

Das Abgasreinigungs-System GIANT ist besonders für die Entsorgung größerer Mengen an Prozessabgasen aus CVD-Prozessen der Photovoltaik- und TFT-Industrie geeignet. Das Brenner-Wäscher-System aus dem Hause DAS ist optimiert für bis zu sechs unabhängige Schadgaseinlässe. Es können verschiedene Brenngase und Waschflüssigkeiten eingesetzt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. der linken Seite. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Funktionsprinzip des GIANT-Systems

Die Prozessabgase werden über maximal sechs separate Schadgaseinlässe zugeführt. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Schadgase kommt es in der Flamme zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Ein Flüssigkeitsfilm an der Reaktorinnenwand kühlt den Reaktor und verhindert Korrosion und die Ablagerung von Feststoffpartikeln. In der Waschstrecke, die parallel zum Reaktor angeordnet ist, werden lösliche Komponenten absorbiert und Partikel suspendiert. Gleichzeitig erfolgt eine Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Die verbleibenden Restgase entsprechen den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Grundsätzlich können alle GIANT-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Brenngas: NG, LPG
  • Oxidant: O2
  • Kreislaufsystem: Wasser, Lauge
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
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Prinzip Abgasreinigung von DAS mit GIANT
GIANT – Lösung zur Abgasreinigung am Point-Of-Use bei CVD-Prozessen

Spezifikationen

  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    2025 mm x 1530 mm x 2100 mm
  • Wartungsfläche vor und links der Anlage
  • Gaseinlass: max. 6 x DN25 oder 4 x DN40
  • Gasauslass: DN100
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