Point-of-Use Abgasreinigung mit ESCAPE (burn/wet)

DAS Abgasreinigung mit ESCAPE
Prozessabgas-Reinigung mit ESCAPE

Die ESCAPE-Technologie ist die optimale Kombination der Verfahrensabläufe Verbrennen & Waschen auf kleinstem Raum, die vielen Abgasreinigungs-Anlagen von DAS zu Grunde liegt. Sie ist eine effektive und vielseitig einsetzbare Technik für die Point-of-Use Abgasreinigung bei geringen Investitionskosten. Auf der Grundlage dieser Brenner-Wäscher-Technologie haben wir die ESCAPE-Produktlinie entwickelt, die sehr flexibel und kundenspezifisch zur Reinigung fast aller anfallenden Prozessabgase der Halbleiter- und Photovoltaikindustrie eingesetzt wird. Neben unterschiedlichen Bauhöhen kann auch die Medienversorgung der Systeme variabel ausgeführt werden.

ESCAPE-Systeme können platzsparend aufgestellt werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Die Wartung funktioniert einfach und schnell, ohne dass spezielle Werkzeuge benötigt werden. Eine Prozesskopplung ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Grundsätzlich können alle ESCAPE-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Brenngas: NG, LPG, H2
  • Oxidant: O2, CDA
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -leitungen
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2 Zertifizierung

Funktionsprinzip der ESCAPE Abgasreinigungs-Systeme

Die Schadstoffe in den Prozessabgasen werden direkt am Ort ihres Entstehens (Point-of-Use) beseitigt. Dazu werden die Abgase in einen ringförmigen Brenner geleitet. Abhängig von der chemischen Zusammensetzung der Abgase kommt es zu verschiedenen Reaktionen (Oxidation, Reduktion, Pyrolyse). Im anschließenden Waschprozess werden die im Verbrennungsprozess entstandenen löslichen, gasförmigen und festen Bestandteile durch eine entsprechende Waschflüssigkeit gebunden. Gleichzeitig erfolgt die schnelle Abkühlung der Verbrennungsprodukte durch die Waschflüssigkeit. Halogenwasserstoffe, die im Verbrennungsprozess entstehen, werden sofort ausgewaschen und neutralisiert. Die verbleibenden Restgase entsprechen den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

ESCAPE Abgasreinigung Prinzip
Funktionsprinzip der ESCAPE Abgasreinigungs-Systeme
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DAS Abgasentsorgung mit ESCAPE INLINE
ESCAPE INLINE – Abgasreinigung für Prozessabgase aus der Epitaxie

ESCAPE INLINE - Unser Basis-System für Abgasreinigung

ESCAPE INLINE ist unser Basis-Abgasreinigungs-System, vielfach bewährt in der Halbleiter- und Solarzellenfertigung. Es entsorgt Abgase aus verschiedensten Prozessen, die über maximal vier separate Schadgaseinlässe zugeführt werden. Unterschiedliche Brenngase und Waschflüssigkeiten können verwendet werden. Alternativ zum Waschflüssigkeits-Durchlaufsystem kann die Anlage auch mit wassersparendem Waschflüssigkeits-Kreislaufsystem ausgerüstet werden. 

Spezifikationen

  • Bis zu vier getrennte Einlässe
  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems
  • In zwei Höhen verfügbar

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    855 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
  • Gasauslass: max. DN100
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Epitaxie Abgasreinigung mit ESCAPE PLUS von DAS
Abgasreinigung für Epitaxie mit ESCAPE PLUS

Prozessabgase aus der Epitaxie reinigt ESCAPE PLUS

Das Point-of-Use System ESCAPE PLUS wurde für spezielle Applikationen mit größeren Mengen Wasserstoff entwickelt. Ein typischer Prozess ist die Epitaxie. Dabei können verschiedene Brenngase verwendet werden. Die Anlage ist mit einem Wasser-Durchlaufsystem ausgestattet, welches es ermöglicht, große Wärmemengen ohne Kühlsystem abzuführen. Höchste Sicherheitsstandards werden erfüllt.

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Point of Use Abgasreinigung mit ESCAPE DUO
ESCAPE DUO – Abgasreinigung mit Back-Up-Funktion dank zwei Brenner-Wäscher-Systemen

Abgasreinigung mit Backup-Funktion – ESCAPE DUO

ESCAPE DUO ist eine Point-of-Use Anlage mit zwei Brenner-Wäscher-Systemen, die parallel zueinander arbeiten. Das Doppelsystem ist optimiert für bis zu vier unabhängige Schadgaseinlässe von Prozessanlagen der Halbleiter- oder Photovoltaikindustrie. Im Falle einer Betriebsstörung oder der Wartung eines Reaktors übernimmt der jeweils andere Reaktor die vollständige Abgasbehandlung (internes Backup). Dadurch wird eine nahezu 100-prozentige Verfügbarkeit der Prozessanlage(n) erreicht. 

Spezifikationen

  • Hauptreaktor mit bis zu vier getrennten Schadgaseinlässen
  • Fast 100 % Verfügbarkeit aufgrund der Backup-Funktion
  • Backup-Reaktor erlaubt unterbrechungsfreien Betrieb während der Wartung
  • Verschiedene Brenngase möglich
  • Geringer Wasserverbrauch aufgrund des Kreislaufsystems

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 4 x DN25 oder DN40
  • Gasauslass: max. 2 x DN100
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