Elektrostatische Abscheidung von Mikro- und Nanopartikeln mit EDC am Point-Of-Use

Elektrostatische Abscheidung von Mikro- und Nanopartikeln inigung EDC
Elektrostatische Abscheidung von Mikro- und Nanopartikeln zur Abluftreinigung mit EDC

Das Produkt- und Leistungsportfolio von DAS im Bereich Abgasreinigung beinhaltet auch den elektrostatischen Mikro- und Nanopartikel-Abscheider EDC, welcher zur Point-of-Use Behandlung von partikel- bzw. aerosolbelasteten Prozessabgasen eingesetzt wird. Solche Abgase entstehen beispielsweise bei der Fertigung von Solarzellen und auch in der Halbleiterproduktion. Die Abkürzung EDC steht für „electrostatic dust collector“. Der Abscheider zur Abluftreinigung reduziert die Emission von Mikro- und Nanopartikeln bis zu 99,9 %.

Funktionsprinzip der EDC-Produktlinie

Die vorgereinigten Prozessabgase werden in einen Tank geleitet, der gleichzeitig als Vorlagebehälter für die Waschflüssigkeit dient. Der Tank ist mit Düsen ausgestattet, die den Abluftstrom mit Wasser sättigen und für eine turbulente Strömung sorgen. Im Anschluss werden die Abgase durch die Abscheider-Säulen geführt, wo enthaltene Mikro- und Nanopartikel ionisiert und auf dem geerdeten Waschflüssigkeitsfilm an der bespülten Wand abgeschieden werden. Der ausgefilterte Staub wird in der Waschflüssigkeit suspendiert. Der Abscheider zur Abluftreinigung verfügt über ein Selbstreinigungssystem für die Sprühelektroden. Die verbleibenden Restgase entsprechen den rechtlichen Vorschriften zur Reinhaltung der Luft (TA Luft).

Geprüfte Qualität für Abgasreinigung mit EDC
Geprüfte Qualität für Abgasreinigung mit EDC

Grundsätzlich können EDC-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Stützlüfter
  • Laugendosierung
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2 Zertifizierung
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Prinzip Elektrostatische Abscheidung von Mikro- und Nanopartikeln mit EDC von DAS zur Abluftreinigung
Funktionsprinzip der EDC-Produktlinie zur Abluftreinigung
Abluftreinigung aerosolbelasteter Abgase EDC von DAS
Elektrostatischer Abscheider für Mikro- und Nanopartikel von DAS

EDC – Reduzierung der Emissionen von Mikro- und Nanopartikeln am Point-of-Use

EDC ist ein elektrostatischer Staubabscheider zur Point-of-Use Behandlung von bis zu 90 m³/h partikel- bzw. aerosolbelasteten Prozessabgasen, wie sie beispielsweise bei der Solarzellenfertigung entstehen. Der Abscheider zur Abluftreinigung reduziert die Emission von Mikro- und Feinstaubpartikeln bis zu 99,9 %. Ein Verblocken der Abgasleitungen wird wirkungsvoll verhindert. EDC kann hinter die meisten Anlagen zur Prozessabgasentsorgung geschaltet und optional mit einem druckgeregelten Stützlüfter und/oder einer Laugendosiereinrichtung ausgestattet werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll.

Ihre Vorteile

  • Effiziente Reinigung von mikro- und nanopartikel- bzw. aerosolbelasteter Abluft
  • Die festen Partikel werden in Flüssigkeit suspendiert (kein Arbeiten mit trockenem Staub)
  • Extrem geringe Partikelemission
  • Hoher Sicherheitsstandard bei der Abluftreinigung (alle kritischen Parameter werden von Sensoren überwacht )
  • Schnittstellen zu vorgeschalteten Abgasentsorgungssystemen

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    830 mm × 855 mm × 2100 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: DN100
  • Gasauslass: DN100
  • Gasfluss: max. 90 m3/h
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DAS Point of Use Abluftreinigung Partikel Aerosole EDC PLUS
Verstärkte elektrostatische Abscheidung von Mikro- und Nanopartikeln zur Abluftreinigung mit EDC PLUS

EDC PLUS – mehr Abluftreinigung am Point-of-Use

EDC PLUS ist ein elektrostatischer Staubabscheider zur Point-of-Use Behandlung von bis zu 270 m³/h mikro- und nanopartikel- bzw. aerosolbelasteten Prozessabgasen, wie sie beispielsweise bei der Solarzellen- bzw. TFT-Fertigung entstehen. Der Abscheider zur Abluftreinigung reduziert die Emission von Mikro- und Nanopartikeln bis zu 99,9 %. Ein Verblocken der Abgasleitungen wird wirkungsvoll verhindert. EDC PLUS kann hinter die meisten Anlagen zur Prozessabgasentsorgung geschaltet und optional mit einem druckgeregelten Stützlüfter und/oder einer Laugendosiereinrichtung ausgestattet werden. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Eine Kopplung über das Prozess-Tool-Interface ist sowohl zur Erhöhung der allgemeinen Sicherheit als auch zur Optimierung der Betriebskosten sinnvoll. 

Ihre Vorteile

  • Effiziente Reinigung von mikro- und nanopartikel- bzw. aerosolbelasteter Abluft
  • Die festen Partikel werden in Flüssigkeit suspendiert (kein Arbeiten mit trockenem Staub)
  • Extrem geringe Partikelemission
  • Hoher Sicherheitsstandard bei der Abluftreinigung (alle kritischen Parameter werden von Sensoren überwacht )
  • Schnittstellen zu vorgeschalteten Abgasentsorgungssystemen

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1500 mm × 1000 mm × 2100 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: DN150
  • Gasauslass: DN200
  • Gasfluss: max. 270 m3/h
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