Abgasreinigung mit AQUABATE (wet) am Point-Of-Use

Point-Of-Use Abgasreinigung mit Gaswäscher AQUABATE
Point-Of-Use Abgasreinigung mit Gaswäscher AQUABATE

Die Produktfamilie AQUABATE vervollständigt das Abgasreinigungs-Portfolio von DAS Environmental Expert. Sie basiert auf einer reinen Nasswäsche zum effizienten Auswaschen wasserlöslicher Schadstoffe aus Prozessabgasen. Vor allem in der Halbleiterindustrie und LED-Industrie werden die Point-of-Use Gaswäscher zur Abgasreinigung eingesetzt. Möglichst nah hinter den Vakuumpumpen installiert schützen sie das Fab-Abluftsystem optimal vor Verunreinigung und Korrosion. Die Anlagen sind sehr wartungsfreundlich. Der Zugang für Bedienung und Wartung erfolgt von der Vorder- bzw. Rückseite. Weitere Vorteile sind die hohe Entsorgungseffizienz, niedrige Anschaffungskosten sowie kleine Stellflächen. Durch eine Prozesskopplung können die Betriebskosten optimiert werden.

Gaswäscher AQUABATE Zertifizierte Qualität von DAS
Semi-Zertifizierung für Gaswäscher AQUABATE von DAS

Grundsätzlich können AQUABATE-Anlagen wie folgt optional ausgestattet werden:

  • Stromversorgung: 3 x 400 V/50 Hz oder  3 x 208 V/60 Hz
  • Heizung für Schadgaseinlässe und -zuleitungen
  • Laugendosierung
  • Prozess-Tool-Interface
  • Signalampel
  • Tropfwanne
  • Erdbeben-Sicherheitsset
  • Monitoring
  • SEMI S2 Zertifizierung
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DAS Prinzip Abgasreinigung mit Gaswäscher AQUABATE
Funktionsprinzip der AQUABATE Gaswäscher
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Gaswäscher AQUABATE EPI – Abgasreinigung am Point-Of-Use Epitaxie
Gaswäscher AQUABATE EPI – Abgasreinigung am Point-Of-Use für Epitaxie-Prozesse

Entsorgung von Prozessabgasen aus der Epitaxie mit AQUABATE EPI

Der Gaswäscher AQUABATE EPI wurde speziell für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen in der Halbleiterindustrie entwickelt. Schwerpunkt ist dabei die Einhaltung hoher Sicherheitsstandards, die sich aus der Verwendung des Trägergases Wasserstoff bei diesem Prozess ergeben. Nach dem Waschverfahren wird der Wasserstoff kontrolliert auf die untere Explosionsgrenze (UEG) verdünnt. Die Prozessabgase werden über maximal drei separate Schadgaseinlässe zugeführt. Die speziell konstruierten Einlässe verhindern das Verblocken. Sowohl die Einlässe als auch die Zuleitungen sind optional beheizbar. Zur Erhöhung der Wascheffizienz kann die Waschflüssigkeit optional mit Chemikalien angereichert werden. 

Spezifikationen

  • Kein Verblocken
  • Geringe Standfläche

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1020 mm x 930 mm x 1800 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlässe: max. 3 x DN40
  • Gasauslass: DN40
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DAS Abgasentsorgung mit dem Gaswäscher AQUABATE FLEX
AQUABATE FLEX – modulare Abgasreinigung am Point-Of-Use durch Gaswäscher

Modulare Entsorgung mit dem Gaswäscher AQUABATE FLEX

AQUABATE FLEX ist ein modularer Gaswäscher zur effizienten Abscheidung wasserlöslicher Komponenten aus Schadgasen unterschiedlichster Applikationen.
Der Gaseinlass ist so konstruiert, dass Verblockungen vermieden werden. AQUABATE FLEX ist als ein- oder zweistufiger Wäscher lieferbar und kann dank des kompakten, modularen Aufbaus optimal an Kundenanforderungen angepasst werden. In Abhängigkeit der Konfiguration des Gaswäschers können Schadgaseingänge bis hin zum Eintritt in die Waschstrecke bzw. den Waschflüssigkeitsbehälter optional beheizt werden, um Probleme durch kondensierendes Gas bei der Abgaszuführung zu vermeiden. Zur Erhöhung der Wascheffizienz kann die Waschflüssigkeit optional mit Chemikalien angereichert werden. 

Spezifikationen

  • In sechs Varianten verfügbar
  • Kein Verblocken
  • Geringe Standfläche

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1165 mm x 820 mm x 1944 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: max. 4 x DN40 - DN150
  • Gasauslass: 2 x DN100 bzw. 150
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DAS Abgasreinigung kombiniert Gaswäscher AQUABATE und ESCAPE
AQUABATE COMBIBURN – kombinierte Abgasreinigung am Point-Of-Use für AP/RP-Epitaxie

Kombinierte Entsorgung von Prozessabgasen für AP/RP-Epitaxie mit AQUABATE COMBIBURN

AQUABATE COMBIBURN ist eine Kombination von AQUABATE EPI und ESCAPE PLUS. Sie ist eine spezielle Lösung für die Entsorgung von Epitaxie-Prozessen (Atmospheric and Reduced Pressure Epitaxy, AP/RP), welche die praxiserprobte ESCAPE-Technologie für die Verbrennung hoher Wasserstoffmengen unter Einhaltung höchster Sicherheitsstandards einsetzt. Die Abgasreinigung erfolgt in drei Stufen (Beispiel-Prozess): Der Gaswäscher AQUABATE EPI absorbiert Siliziumchloride und HCI. In der ESCAPE PLUS-Brennkammer verbrennen SiH4, GeH4 und H2. In der ESCAPE PLUS-Waschstrecke werden SiO2 und GeO2 abgebaut   Es erfolgt die komplette Entsorgung aller Prozessabgase, einschließlich Wasserstoff. 

Spezifikationen

  • Kein Verblocken
  • Geringe Standfläche

Technische Daten

  • Größe (B x T x H):
    1875 mm x 930 mm x 2070 mm
  • Wartungsfläche vor und hinter der Anlage
  • Gaseinlass: max. 3 x DN40
  • Gasauslass: DN100
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